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Autor(en)

Kim, Kyoung Seob

Artikel

Silicon Dioxide Deposited by Using Liquid Phase Deposition at Room Temperature for Nanometer-Scaled Isolation Technology

Titel

The journal of the Korean Physical Society

Seiten

1191-1194

Band

51

Heft

3

Verlag

Korean Physical Society

Ort

Seoul, Korea

Erscheinungsjahr

2007

Identifikatoren

ISSN: 0374-4884; eISSN: 1976-8524

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