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Autor(en)
Puyo, Maxime
Artikel
Beyond surface nanoindentation: Combining static and dynamic nanoindentation to assess intrinsic mechanical properties of chemical vapor deposition amorphous silicon oxide (SiOx) and silicon oxycarbide (SiOxCy) thin films
Titel
Thin solid films
Verlag
Elsevier Pub Co,
Ort
Amsterdam :
Erscheinungsjahr
1967-
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