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LIGA and its applications
Advanced micro & nanosystems; Bd. 7
(alle Bände)
Saile, Volker [Herausgeber]; [u.a.] - 2009
Signatur:
YFB3421-7
Herstellung und Untersuchung photonischer Mikrobauelemente in LIGA-Technik
Schift, Helmut - 1994
Signatur:
DQ1905
Fertigungsgerechte Gestaltung von Mikrostrukturen für die LIGA-Technik
Leßmöllmann, Christoph - 1992
Signatur:
D8036
Aufbau von optisch-elektrischen Funktionsmodulen mit Hilfe des LIGA-Verfahrens für die optische Übertragungstechnik
Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe; 6344
(alle Bände)
Ziegler, Patrick; Wengelink, Jörg; Mohr, Jürgen - Als Ms. gedr. - 1999
Signatur:
M18370
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