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Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm [Elektronische Ressource]
Käsmaier, Rainer - 2000
Signatur: YFB3227
Mikrosystemtechnik
  • Vogel-Fachbuch
Fischer, Wolf-Joachim [Herausgeber]; Plötner, Matthias; [u.a.] - 1. Aufl. - 2000
Signatur: YFB3324
Reliability of MEMS : [testing of materials and devices]
Tabata, Osamu [Herausgeber]; [u.a.] - 2008
Signatur: YFB3421-6
Analog VLSI : circuits and principles
  • A Bradford book
Liu, Shih-Chii; [u.a.] - 2002
Signatur: YFB3358
Biochip technology
Cheng, Jing [Herausgeber]; [u.a.] - 2003
Signatur: YFB3641
Reliability and failure of electronic materials and devices
Ohring, Milton - 1998
Signatur: YFB3633
Silizium-Planartechnologie : Grundprozesse, Physik und Bauelemente
  • Lehrbuch: Elektrotechnik, Physik
  • Teubner-Studienbücher: Physik
Wagemann, Hans-Günther; Schönauer, Tim - 1. Aufl. - 2003
Signatur: YFB3413
Advanced micro & nanosystems
2004 -
Signatur: YFB3421-...
The VLSI handbook
  • The electrical engineering handbook series
Chen, Wai-Kai [Herausgeber] - 2000
Signatur: YFB3455
Microengineering of metals and ceramics
  • Advanced micro & nanosystems
Löhe, Detlef [Herausgeber]; [u.a.] - 2005 -
Signatur: YFB3421-...
Microengineering of metals and ceramics / Bd. 1 : Design, tooling and injection molding
Löhe, Detlef [Herausgeber] - 2005
Signatur: YFB3421-3
Praxiswissen Mikrosystemtechnik : Grundlagen - Technologien - Anwendungen ; mit 55 Tabellen
  • Vieweg Praxiswissen
  • Praxis und Studium
  • Elektrotechnik
Völklein, Friedemann; Zetterer, Thomas - 2., vollst. überarb. und erw. Aufl. - 2006
Signatur: YFB3170(2)
Mikrosystemtechnik : Konzepte und Anwendungen ; mit 23 Tabellen und 95 Aufgaben
  • Lehrbuch: Elektrotechnik
Mescheder, Ulrich - 2., überarb. und erg. Aufl. - 2004
Signatur: YFB3162(2)
CMOS-MEMS
Brand, Oliver [Herausgeber]; [u.a.] - 2005
Signatur: YFB3421-2
System integration : from transistor design to large scale integrated circuits
Hoffmann, Kurt - 2004
Signatur: YFB3502
RapidIO : the embedded system interconnect
Fuller, Samuel H. [Herausgeber]; Gatherer, Alan; [u.a.] - 2005
Signatur: YFB3497
Nanotechnology : global strategies, industry trends and applications
Schulte, Jurgen [Herausgeber] - 2005
Signatur: YFB3471
Enabling technology for MEMS and nanodevices
Baltes, Henry [Herausgeber]; [u.a.] - [Nachdr.] - 2005
Signatur: YFB3421-1
Analyse elektromagnetischer Interferenzen in hybriden Mikrosystemen
Kirchhof, Jürgen - 2004
Signatur: P1751
Digital systems testing and testable design
Abramovici, Miron; Breuer, Melvin A.; Friedman, Arthur D. - Rev. print. - 1990
Signatur: YFB3528
Etching in microsystem technology
Köhler, Michael - 1999
Signatur: YFB3243-EN
MEMS in der Mikrosystemtechnik : Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme ; mit 6 Tabellen
  • Lehrbuch: Elektrotechnik
Glück, Markus - 1. Aufl. - 2005
Signatur: YFB3560
Mikroelektronik : Halbleiterbauelemente und deren Anwendung in elektronischen Schaltungen
  • Springer-Lehrbuch
Tille, Thomas; Schmitt-Landsiedel, Doris - 2005
Signatur: YFB3552
Nano + Mikrotech : Entwicklung der Nano- und Mikrotechnologie / III : Beiträge Frühjahr 2003
Ilfrich, Thomas - 2005
Signatur: YFB3510-3
Nano + Mikrotech : Entwicklung der Nano- und Mikrotechnologie
Ilfrich, Thomas - 2003 -
Signatur: YFB3510-...
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