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2000 5th International Symposium on Plasma Process-Induced Damage : May 22-24, 2000, Santa Clara, California, USA
2000
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1996 1st International Symposium on Plasma Process-Induced Damage : 13-14 May 1996, Santa Clara, California, USA
1996
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2003 8th International Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage : April 24-25, 2003, Corbeil-Essonnes, France
2003
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1999 4th International Symposium on Plasma Process-Induced Damage : May 9-11, 1999, Monterey, California, USA
1999
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1997 2nd International Symposium on Plasma Process-Induced Damage : 13-14 May 1997, Monterey, California, USA
1997
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1998 3rd International Symposium on Plasma Process-Induced Damage : June 4-5, 1998, Honolulu, Hawaii, USA
1998
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2002 7th International Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage : June 5-7, 2002, Maui, Hawaii, USA
2002
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2001 6th International Symposium on Plasma- and Process-Induced Damage : May 13-15, 2001, Monterey, California, USA
2001
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Autor / AutorinFriedrich, Harald
Autor / AutorinInternational Symposium on Plasma Process-Induced Damage
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