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Oberflächentechnologie mit Niederdruckplasmen : Beschichten und Strukturieren in der Mikrotechnik
2., völlig neubearb. Aufl, 1994
Signatur: YFC1165(2)
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Untersuchungen zur Optimierung von Dickschicht-Hybridschaltungen unter dem Aspekt der Parasitärkomponenten
1990
Signatur: D5439
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Dry etching for VLSI
Updates in applied physics and electrical technology
1991
Signatur: YGY2018
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Handbook of VLSI microlithography : principles, technology and applications
Materials science and process technology series : Electronic materials and process technology
1991
Signatur: YGY2000
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