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- International Symposium on Plasma Process-Induced Damage
- Institute of Electrical and Electronics Engineers,
- Negele, J. W
- Vogt, Erich
- IEEE International Conference on Plasma Science
- Ebeling, Werner
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- Allmen, Martin <<von>>
- Basov, Nikolaj G
- Fortov, Vladimir E
- Hippler, Rainer
- Hora, Heinrich
- Jakubov, Igor T
- Klimontovič, Jurij L
- Kunhardt, Erich E
- König, E.,
- Lacarbonara, Walter
- Luo, Albert C. J
- Mehdizadeh, Mehrdad
- Mermet, Jean-Michel
Erscheinungsform
Schlagwort
- Plasma
- Physics
- Plasma engineering
- Atomic, Molecular, Optical and Plasma Physics
- Plasma waves
- Nuclear physics
- Plasma chemistry
- Atoms
- Electrical Engineering
- Engineering & Applied Sciences
- Plasma physics
- Electrical & Computer Engineering
- Lasererzeugtes Plasma
- Plasma astrophysics
- Semiconductor wafers
- Semiconductors
- Nuclear Physics, Heavy Ions, Hadrons
- Plasmaphysik
- Gasentladung
- Inductively coupled plasma mass spectrometry
Erscheinungsjahr
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