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Springer Series in Plasma Science and Technology
1st ed. 2022, 2022
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Springer Series on Atomic, Optical, and Plasma Physics : 120
2nd ed. 2022, 2022
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Autor / Autorin
- International Symposium on Plasma Process-Induced Damage
- Negele, J. W
- Vogt, Erich
- Fortov, Vladimir E
- Haken, Hermann
- IEEE International Conference on Plasma Science
- Institute of Electrical and Electronics Engineers,
- Demtröder, Wolfgang
- Du, ChangMing
- Hering, Ekbert
- Keidar, Michael
- Martin, Rolf
- Stohrer, Martin
- Wolf, Hans C
- Yan, JianHua
- Berliner, Lawrence J
- Dudnikov, Vadim
- Kilpua, Emilia K. J
- Koskinen, Hannu E. J
- Mulser, Peter
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