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Atomlagenabscheidung von Hafniumoxid
1. Aufl, 2010
Signatur: UIY2616


Version: 14. Nov. 2001, 2001
Signatur: P1522

Berichte aus der Halbleitertechnik
Als Ms. gedr, 1999
Signatur: UIY2488, P1314












VDI-TZ-Proceedings
1989
Signatur: ZKQ1508

VDI-TZ-Proceedings
1989
Signatur: ZKQ1493



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