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Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Silizium-Halbleitertechnologie : Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
- Ist Teil von
- Lehrbuch
- Auflage
- 7., überarbeitete und ergänzte Auflage
- Ort / Verlag
- Wiesbaden : Springer Vieweg
- Erscheinungsjahr
- [2019]
- Link zu anderen Inhalten
- Sprache
- Deutsch
- Identifikatoren
- ISBN: 9783658234430, 9783658234447OCLC-Nummer: 1056576353, 1056576353Titel-ID: 990021898990106463
- Format
- XI, 275 Seiten; Illustrationen; 24 cm x 16.8 cm
- Systemstelle
- YFB
- Schlagworte
- Silicium, Halbleitertechnologie