6., korr. und verb. Aufl, 2014
Signatur: YFB3120(6)
Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Silizium-Halbleitertechnologie : Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
- Auflage
- 6., korr. und verb. Aufl
- Ort / Verlag
- Wiesbaden : Springer Vieweg
- Erscheinungsjahr
- 2014
- Link zu anderen Inhalten
- Sprache
- Deutsch
- Identifikatoren
- ISBN: 9783834813350, 3834813354OCLC-Nummer: 894721238, 894721238Titel-ID: 990017495680106463
- Format
- XI, 263 S. : Ill., graph. Darst.
- Systemstelle
- YFB
- Schlagworte
- Silicium, Halbleitertechnologie