Autor(en)
Heß, Felix; Lindner, Jörg [Gutachter]; Lischka, Klaus [Gutachter]
Titel
Generierung von Defekten auf der Waferkante mittels Nanosekunden-Laserablation für die Analyse von Messsystemen
Erscheinungsjahr
2012
Verknüpfte Titel
Beschreibungen
Tag der Verteidigung: 13.09.2012
Paderborn, Univ., Diss., 2012
Format
XVIII, 143 S. : Ill., graph. Darst.
Sprache(n)
Deutsch, Englisch
Identifikator(en)
Links zum Inhalt
Schlagwörter
Systemstelle
Signatur
PQ724

Exemplare

SignaturLeihartStandortStatusLeihfrist
PQ724Nicht ausleihbar
Magazin J
Nicht entliehen

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