Autor(en)
Heß, Felix; Lindner, Jörg [Gutachter]; Lischka, Klaus [Gutachter]
Titel
Generierung von Defekten auf der Waferkante mittels Nanosekunden-Laserablation für die Analyse von Messsystemen [Elektronische Ressource]
Erscheinungsjahr
2012
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Verknüpfte Titel
Beschreibungen
Tag der Verteidigung: 13.09.2012
Paderborn, Univ., Diss., 2012
Format
Sprache(n)
Deutsch, Englisch
Identifikator(en)
OCLC-Nummer: 930837793
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Schlagwörter
Systemstelle
Signatur
Die Universität der Informationsgesellschaft