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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Control technologies for emerging micro and nanoscale systems
Ist Teil von
Ort / Verlag
Berlin [u.a.] : Springer
Erscheinungsjahr
2011
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Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 9783642221729
OCLC-Nummer: 747536971, 747536971
Titel-ID: 990014216360106463
Format
XV, 287 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UFF
Schlagworte
Nanotechnologie, MEMS, Rasterkraftmikroskopie, Engineering, Systems theory

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