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LIGA and its applications
Advanced micro & nanosystems : 7 (Alle Bände)
2009
Signatur: YFB3421-7

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
LIGA and its applications
Ist Teil von
Ort / Verlag
Weinheim : Wiley-VCH
Erscheinungsjahr
2009
Link zu anderen Inhalten
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 3527316981, 9783527316984
OCLC-Nummer: 301962764, 301962764
Titel-ID: 990012474540106463
Format
X, 479 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB
Schlagworte
LIGA-Verfahren, Microelectromechanical systems, Microtechnology

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