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Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Photonic MEMS devices : design, fabrication and control
- Ist Teil von
- Ort / Verlag
- Boca Raton, Fla. [u.a.] : CRC Press
- Erscheinungsjahr
- 2009
- Link zu anderen Inhalten
- Sprache
- Englisch
- Identifikatoren
- ISBN: 1420045687, 9781420045680OCLC-Nummer: 636200666, 636200666Titel-ID: 990010049210106463
- Format
- 483 S. : zahlr. Ill., graph. Darst.
- Systemstelle
- YFP, UGU
- Schlagworte
- Microelectromechanical systems