Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Silizium-Halbleitertechnologie : Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
- Ist Teil von
- Studium
- Auflage
- 5., erg. und erw. Aufl
- Ort / Verlag
- Wiesbaden : Vieweg + Teubner
- Erscheinungsjahr
- 2008
- Link zu anderen Inhalten
- Sprache
- Deutsch
- Identifikatoren
- ISBN: 9783835102453OCLC-Nummer: 244016775, 244016775Titel-ID: 990009928970106463
- Format
- XIII, 338 S. : Ill., graph. Darst.
- Systemstelle
- YFB
- Schlagworte
- Silicium, Halbleitertechnologie