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Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Reliability of MEMS : testing of materials and devices
- Ist Teil von
- Ort / Verlag
- Weinheim : Wiley-VCH
- Erscheinungsjahr
- 2008
- Sprache
- Englisch
- Identifikatoren
- ISBN: 9783527314942OCLC-Nummer: 255824479, 255824479Titel-ID: 990009830470106463
- Format
- XX, 303 S. : Ill., graph. Darst.
- Systemstelle
- YFB
- Schlagworte
- MEMS, Zuverlässigkeit