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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
CMOS-MEMS
Ist Teil von
Ort / Verlag
Weinheim : WILEY-VCH
Erscheinungsjahr
2005
Link zu anderen Inhalten
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 9783527310807, 3527310800
OCLC-Nummer: 249527716, 249527716
Titel-ID: 990009053710106463
Format
XIV, 594 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB
Schlagworte
MEMS, CMOS

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