Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Etching in microsystem technology
1999
Signatur: YFB3243-EN

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Etching in microsystem technology
Ort / Verlag
Weinheim [u.a.] : Wiley-VCH
Erscheinungsjahr
1999
Link zu anderen Inhalten
Beschreibungen/Notizen
  • Literaturverz. S. 345 - 360. - Dt. Ausg. u.d.T.: Köhler, Michael: Ätzverfahren für die Mikrotechnik
  • Aus dem Dt. übers.
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 3527295615
OCLC-Nummer: 632902315, 632902315
Titel-ID: 990008857130106463
Format
XVI, 368 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB
Schlagworte
Mikrosystemtechnik, Ätzen

Lade weitere Informationen...