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Mikrosensorik und Mikroelektronik : vom physikalischen Effekt zur Grundstruktur und zum Mikrosystem ; mit 32 Tabellen
Sensorik : 10 (Alle Bände)
2000
Signatur: YFB3201

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Mikrosensorik und Mikroelektronik : vom physikalischen Effekt zur Grundstruktur und zum Mikrosystem ; mit 32 Tabellen
Ist Teil von
Ort / Verlag
Renningen-Malmsheim : expert-Verl.
Erscheinungsjahr
2000
Beschreibungen/Notizen
  • Literaturverz. S. 721 - 741
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 3816917526
OCLC-Nummer: 1072206723, 1072206723
Titel-ID: 990008177440106463
Format
765 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
XXM, WFC, YFB
Schlagworte
Mikroelektronik, Mikrosensor, Mikrosystemtechnik

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