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Semiconductor technology : processing and novel fabrication techniques
A Wiley-Interscience publication
1997
Signatur: YET3281

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Semiconductor technology : processing and novel fabrication techniques
Ist Teil von
  • A Wiley-Interscience publication
Ort / Verlag
New York [u.a.] : John Wiley
Erscheinungsjahr
1997
Beschreibungen/Notizen
  • Aus dem Russ. übers.
Sprache
–
Identifikatoren
ISBN: 0471127922
OCLC-Nummer: 636813623, 636813623
Titel-ID: 990007633970106463
Format
XVIII, 240 S. : graph. Darst.
Systemstelle
YET
Schlagworte
Halbleitertechnologie

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