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Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. 2. Micromachining and microfabrication
Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication (Alle Bände), SPIE Press monograph : 40 (Alle Bände), IEE materials and devices series : 12,B (Alle Bände)
1997
Signatur: UIY2420-2

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication. 2. Micromachining and microfabrication
Ist Teil von
Ort / Verlag
Bellingham, Wash. : SPIE Optical Engineering Press [u.a.]
Erscheinungsjahr
1997
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0819423793, 0852969112
OCLC-Nummer: 312815275, 312815275
Titel-ID: 990007238510106463
Format
VIII, 692 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UIY

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