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Thermodynamische Modellierung der Systeme Al-C-N-Si, Al-N-O-Zn und C-O-Si-Zn und PVD-Herstellung piezoelektrischer Schichten aus dem System Al-N-O-Zn
Wissenschaftliche Berichte / Forschungszentrum Karlsruhe : 5625 (Alle Bände)
Als Ms. gedr, 1995
Signatur: DQ1984

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Thermodynamische Modellierung der Systeme Al-C-N-Si, Al-N-O-Zn und C-O-Si-Zn und PVD-Herstellung piezoelektrischer Schichten aus dem System Al-N-O-Zn
Ist Teil von
Auflage
Als Ms. gedr
Ort / Verlag
Karlsruhe
Erscheinungsjahr
1995
Beschreibungen/Notizen
  • Zsfassung in dt. und engl. Sprache
  • Karlsruhe, Univ., Diss., 1995
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 75661293, 75661293
Titel-ID: 990006953890106463
Format
172 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UIQ

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