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Metal impurities in silicon device fabrication
Springer series in materials science : 24 (Alle Bände)
1995
Signatur: UIU3638

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Metal impurities in silicon device fabrication
Ist Teil von
Ort / Verlag
Berlin [u.a.] : Springer
Erscheinungsjahr
1995
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 3540583173, 0387583173
OCLC-Nummer: 844938274, 844938274
Titel-ID: 990006640630106463
Format
IX, 216 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UIU
Schlagworte
Siliciumbauelement, Übergangsmetall, Verunreinigung

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