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Laser assisted microtechnology
Springer series in materials science : 19
(
Alle Bände
)
Metev, Simeon M
Vejko, Vadim P
1994
Signatur:
YGY2034
Details
Autor(en) / Beteiligte
Metev, Simeon M
Vejko, Vadim P
Titel
Laser assisted microtechnology
Ist Teil von
Springer series in materials science : 19
(
Alle Bände
)
Ort / Verlag
Berlin [u.a.] : Springer
Erscheinungsjahr
1994
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 3540539255, 0387539255
OCLC-Nummer: 844858600, 844858600
Titel-ID: 990006629850106463
Format
X, 240 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB
,
UIY
,
YGY
Schlagworte
Mikrosystemtechnik
,
Laser
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