Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Papers from the Second High Density Plasma Workshop : 3 - 4 August 1993, San Francisco, California
Papers from the Second High Density Plasma Workshop (Alle Bände)
1994
Signatur: 67j4-b

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Papers from the Second High Density Plasma Workshop : 3 - 4 August 1993, San Francisco, California
Ist Teil von
Erscheinungsjahr
1994
Beschreibungen/Notizen
  • In: Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement, and phenomena. - ISSN 0734-211X. - Ser. 2, Vol. 12 (1994), Nr. 1, S. [407] - 511
Sprache
Englisch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1072081243, 1072081243
Titel-ID: 990006490770106463
Format
Ill., graph. Darst.
Systemstelle
67

Lade weitere Informationen...