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Defect engineering in semiconductor growth, processing and device technology : symposium held April 26 - May 1, 1992, San Francisco, California, U.S.A
Materials Research Society symposium proceedings : 262
(
Alle Bände
)
Ashok, S
[Herausgeber]
1992
Signatur:
UIU3450
Details
Autor(en) / Beteiligte
Ashok, S
[Herausgeber]
Titel
Defect engineering in semiconductor growth, processing and device technology : symposium held April 26 - May 1, 1992, San Francisco, California, U.S.A
Ist Teil von
Materials Research Society symposium proceedings : 262
(
Alle Bände
)
Ort / Verlag
Pittsburgh, Pa.
Erscheinungsjahr
1992
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Inhaltsverzeichnis
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 1558991573
OCLC-Nummer: 246780641, 246780641
Titel-ID: 990006119240106463
Format
XIX, 1144 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YET
,
UIU
Schlagworte
Gitterbaufehler
,
Fehler
,
Halbleiter
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