Autor(en)
Lindner, Jörg K. N.
Titel
Untersuchungen zur Ionenstrahlsynthese vergrabener metallischer Schichten durch MeV-Ni-Implantation in Silizium
Erscheinungsjahr
1989
Beschreibungen
Dortmund, Univ., Diss., 1989
Format
173, [6] S. : zahlr. Ill. u. graph. Darst.
Sprache(n)
–
Identifikator(en)
–
Links zum Inhalt
–
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Schlagwörter
–
Systemstelle
UIQ
Signatur
D2760

Exemplare

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