Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Experimente und Modellrechnungen zur Untersuchung mikroskopischer Prozesse bei der Ionenimplantation in Silizium
- Erscheinungsjahr
- 1989
- Beschreibungen/Notizen
- Dortmund, Univ., Diss., 1989
- Sprache
- Deutsch
- Identifikatoren
- OCLC-Nummer: 637054004, 637054004Titel-ID: 990005226780106463
- Format
- IV, 131 S. : Ill., zahlr. graph. Darst.
- Systemstelle
- UIQ
- Schlagworte
- Silicium, Ionenimplantation