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Innentrennschleifen von einkristallinem Silizium
1988
Signatur: D384

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Innentrennschleifen von einkristallinem Silizium
Erscheinungsjahr
1988
Beschreibungen/Notizen
  • Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1988
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 636966844, 636966844
Titel-ID: 990005020670106463
Format
VIII, 145 S. : zahlr. Ill. u. graph. Darst.
Systemstelle
ZLF
Schlagworte
Silicium, Einkristall, Trennschleifen

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