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BibTeX
Semiconductor lithography : principles, practices, and materials
Microdevices
Moreau, Wayne M
1988
Signatur:
YGY1436
Details
Autor(en) / Beteiligte
Moreau, Wayne M
Titel
Semiconductor lithography : principles, practices, and materials
Ist Teil von
Microdevices
Ort / Verlag
New York [u.a.] : Plenum Press
Erscheinungsjahr
1988
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0306421852
OCLC-Nummer: 246864648, 246864648
Titel-ID: 990004734190106463
Format
XX, 931 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YGY
Schlagworte
Lithografie
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