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Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators
Springer series in materials science : 3 (Alle Bände)
1987
Signatur: UGD1447

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators
Ist Teil von
Ort / Verlag
Berlin [u.a.] : Springer
Erscheinungsjahr
1987
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 3540179518, 0387179518
OCLC-Nummer: 246790944, 246790944
Titel-ID: 990004613990106463
Format
VIII, 320 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UGD
Schlagworte
Dielektrische Schicht, Laserbearbeitung, Mikrostruktur

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