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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Silicon-on-insulator : its technology and applications ; [papers presented in US-Japan Seminar on 'Solid Phase Epitaxy and Interface Kinetics', held in Oiso, Japan, June 20 - 24, 1983
Ist Teil von
Ort / Verlag
Tokyo [u.a.] : KTK Scientific Publ. [u.a.]
Erscheinungsjahr
1985
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Sprache
Identifikatoren
ISBN: 9027719403
OCLC-Nummer: 615325931, 615325931
Titel-ID: 990002994910106463
Format
VIII, 295 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UAL
Schlagworte
Silicium, Isolierschicht

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