Details

Autor(en) / Beteiligte

• Hilleringmann, Ulrich

Titel

Mikrosystemtechnik : Prozessschritte, Technologien, Anwendungen [electronic resource]

Auflage

1st ed. 2006

Ort / Verlag

Wiesbaden : Vieweg+Teubner Verlag

Erscheinungsjahr

2006

Link zum Volltext

• SpringerLink Books - AutoHoldings

Beschreibungen/Notizen

• Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph
• Prozesstechnik -- Basisprozesse der Mikrosystemtechnik -- Sensor- und Aktoreffekte -- Monolithisch integrierte Mikrosysteme -- Hybride Systeme.
• Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
• German