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Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Silizium-Halbleitertechnologie
- Ist Teil von
- Teubner Studienbücher Technik
- Auflage
- 4th ed. 2004
- Ort / Verlag
- Wiesbaden : Vieweg+Teubner Verlag
- Erscheinungsjahr
- 2004
- Link zum Volltext
- Sprache
- Deutsch
- Identifikatoren
- ISBN: 9783322940728Titel-ID: 990367091520206441
- Format
- 1 Online-Ressource (IX, 326 S. 279 Abb)
- Schlagworte
- Electronics, Microelectronics, Electrical engineering