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Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Mikrosystemtechnik auf Silizium
- Auflage
- 1st ed. 1995
- Ort / Verlag
- Wiesbaden : Vieweg+Teubner Verlag
- Erscheinungsjahr
- 1995
- Link zum Volltext
- Sprache
- Deutsch
- Identifikatoren
- ISBN: 9783322927668Titel-ID: 990367004380206441
- Format
- 1 Online-Ressource (VIII, 229 S. 102 Abb)
- Schlagworte
- Engineering