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Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Silizium-Halbleitertechnologie
- Ist Teil von
- Teubner Studienbücher Technik
- Auflage
- 1st ed. 1996
- Ort / Verlag
- Wiesbaden : Vieweg+Teubner Verlag
- Erscheinungsjahr
- 1996
- Link zum Volltext
- Sprache
- Deutsch
- Identifikatoren
- ISBN: 9783663058533Titel-ID: 990366988040206441
- Format
- 1 Online-Ressource (XI, 280 S. 177 Abb)
- Schlagworte
- Engineering