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Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Mikrosystemtechnik : Prozessschritte, Technologien, Anwendungen [Elektronische Ressource]
- Ort / Verlag
- Wiesbaden : B.G. Teubner Verlag / GWV Fachverlage GmbH, Wiesbaden
- Erscheinungsjahr
- 2006
- Link zum Volltext
- Sprache
- –
- Identifikatoren
- ISBN: 9783835190221OCLC-Nummer: 456085425, 456085425Titel-ID: 990166493050206441
- Format
- –
- Schlagworte
- Mikrosystemtechnik, Engineering, Structural control (Engineering)