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BibTeX
Photonic MEMS devices : design, fabrication and control
Optical science and engineering : 136
(
Alle Bände
)
Liu, Ai-Qun
2009
Signatur:
UGU2707
Details
Autor(en) / Beteiligte
Liu, Ai-Qun
Titel
Photonic MEMS devices : design, fabrication and control
Ist Teil von
Optical science and engineering : 136
(
Alle Bände
)
Ort / Verlag
Boca Raton, Fla. [u.a.] : CRC Press
Erscheinungsjahr
2009
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Inhaltsverzeichnis
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 1420045687, 9781420045680
OCLC-Nummer: 636200666, 636200666
Titel-ID: 990010049210106463
Format
483 S. : zahlr. Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFP
,
UGU
Schlagworte
Microelectromechanical systems
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