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BibTeX
Silizium-Halbleitertechnologie : Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
Studium
Hilleringmann, Ulrich
5., erg. und erw. Aufl, 2008
Signatur:
YFB3120(5)
Details
Autor(en) / Beteiligte
Hilleringmann, Ulrich
Titel
Silizium-Halbleitertechnologie : Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
Ist Teil von
Studium
Auflage
5., erg. und erw. Aufl
Ort / Verlag
Wiesbaden : Vieweg + Teubner
Erscheinungsjahr
2008
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Inhaltsverzeichnis
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISBN: 9783835102453
OCLC-Nummer: 244016775, 244016775
Titel-ID: 990009928970106463
Format
XIII, 338 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YFB
Schlagworte
Silicium
,
Halbleitertechnologie
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