Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Spectroscopic ellipsometry and reflectometry : a user's guide
- Ist Teil von
- A Wiley-Interscience publication
- Ort / Verlag
- New York [u.a.] : Wiley
- Erscheinungsjahr
- c 1999
- Link zu anderen Inhalten
- Sprache
- Englisch
- Identifikatoren
- ISBN: 0471181722OCLC-Nummer: 246064298, 246064298Titel-ID: 990009744470106463
- Format
- XIV, 228 S. : graph. Darst.
- Systemstelle
- UGR, UGU, UIY, UQS, UTF
- Schlagworte
- Ellipsometry, Reflectometer, Materials, Thin films, Surfaces (Technology)