Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Handbook of semiconductor manufacturing technology
- Auflage
- 2. ed
- Ort / Verlag
- Boca Raton [u.a.] : CRC Press
- Erscheinungsjahr
- 2008
- Link zu anderen Inhalten
- Beschreibungen/Notizen
- Frühere Ausg.: New York: Marcel Dekker, 2000
- Sprache
- Englisch
- Identifikatoren
- ISBN: 9781574446753, 1574446754OCLC-Nummer: 846129632, 846129632Titel-ID: 990009720750106463
- Format
- Getr. Zählung : Ill., zahlr. graph. Darst.
- Systemstelle
- YEM, XWQ, YET
- Schlagworte
- Semiconductors, Semiconductor industry