Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
Zur Ergebnisliste
Ergebnis 16 von 39
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Optical microlithography II : technology for the 1980s : March 16 - 17, 1983, Santa Clara, Calif
Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering : 394 (Alle Bände)
1983
Signatur: UAL830632

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Optical microlithography II : technology for the 1980s : March 16 - 17, 1983, Santa Clara, Calif
Ist Teil von
Ort / Verlag
Bellingham, Wash. : SPIE - The International Society for Optical Engineering
Erscheinungsjahr
1983
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0892524294
OCLC-Nummer: 1106811856, 1106811856
Titel-ID: 990008697320106463
Format
VI, 251 S. : Ill., garph. Darst.
Systemstelle
UAL
Schlagworte
Fotolithografie

Lade weitere Informationen...