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Konzeption und Herstellung von Mikrosonden zur elektrischen und thermischen Charakterisierung mikroelektrischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie
1997
Signatur: D11950

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Konzeption und Herstellung von Mikrosonden zur elektrischen und thermischen Charakterisierung mikroelektrischer Bauelemente mittels der Rasterkraftmikroskopie
Erscheinungsjahr
1997
Beschreibungen/Notizen
  • Kassel, Univ.-Gesamthochsch., Diss., 1997
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1070699489, 1070699489
Titel-ID: 990007664000106463
Format
XIII, 138 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UFF

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