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Untersuchung zur Erzeugung hochohmiger Bauelement-Bereiche in Silizium durch Ionenimplantation
1995
Signatur: D10805

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Untersuchung zur Erzeugung hochohmiger Bauelement-Bereiche in Silizium durch Ionenimplantation
Erscheinungsjahr
1995
Beschreibungen/Notizen
  • Bochum, Univ., Diss., 1995
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1068261372, 1068261372
Titel-ID: 990007052100106463
Format
IX, 136 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UFF, UIU, XWQ

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