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Ultraclean semiconductor processing technology and surface chemical cleaning and passivation : symposium held April 17 - 19, 1995, San Francisco, California, U.S.A
Material Research Society symposium proceedings : 386 (Alle Bände)
1995
Signatur: YGY2107

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Ultraclean semiconductor processing technology and surface chemical cleaning and passivation : symposium held April 17 - 19, 1995, San Francisco, California, U.S.A
Ist Teil von
Ort / Verlag
Pittsburgh, Pa. : MRS, Materials Research Soc.
Erscheinungsjahr
1995
Sprache
–
Identifikatoren
ISBN: 1558992898
OCLC-Nummer: 246780706, 246780706
Titel-ID: 990006998820106463
Format
XIII, 411 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
UIU, UIY, YGY
Schlagworte
Halbleiter, Passivierung, Oberflächenreinigung, Integrierte Schaltung, Entwurf, Oberflächenbehandlung

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