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BibTeX
Anwendung der Plasma-Randschichttheorie zur Modellierung von RF-Niederdruck-Gasentladungen und Reaktordesign : Theorie und Experiment
Schwarz, Jürgen
1995
Signatur:
D10486
Details
Autor(en) / Beteiligte
Schwarz, Jürgen
Titel
Anwendung der Plasma-Randschichttheorie zur Modellierung von RF-Niederdruck-Gasentladungen und Reaktordesign : Theorie und Experiment
Erscheinungsjahr
1995
Beschreibungen/Notizen
Stuttgart, Univ., Diss., 1995
Sprache
–
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1106716603, 1106716603
Titel-ID: 990006994640106463
Format
106 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YDT
Schlagworte
Hochfrequenzentladung
,
Niederdruckentladung
,
Plasma-Wand-Wechselwirkung
,
Berechnung
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