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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Anwendung der Plasma-Randschichttheorie zur Modellierung von RF-Niederdruck-Gasentladungen und Reaktordesign : Theorie und Experiment
Erscheinungsjahr
1995
Beschreibungen/Notizen
  • Stuttgart, Univ., Diss., 1995
Sprache
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 1106716603, 1106716603
Titel-ID: 990006994640106463
Format
106 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YDT
Schlagworte
Hochfrequenzentladung, Niederdruckentladung, Plasma-Wand-Wechselwirkung, Berechnung

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