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Polykristalline Halbleiter und Niedertemperatur-Dielektrika zur Herstellung von Dünnschichttransistoren für flache Flüssigkristall-Bildschirme
1994
Signatur: D10440

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Polykristalline Halbleiter und Niedertemperatur-Dielektrika zur Herstellung von Dünnschichttransistoren für flache Flüssigkristall-Bildschirme
Erscheinungsjahr
1994
Beschreibungen/Notizen
  • Stuttgart, Univ., Diss., 1995
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
OCLC-Nummer: 637137241, 637137241
Titel-ID: 990006975490106463
Format
218 S. : Ill., graph. Darst.
Systemstelle
YEP, YFV
Schlagworte
Dünnschichttransistor, Cadmiumselenid, Polykristall, CVD-Verfahren, Flüssigkristallanzeige, Flacher Bildschirm, Silicium, Zyklotronresonanz, Prozessoptimierung

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