Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Untersuchungen zur Ionisierung gesputterter Atome durch Elektronenstoß
- Erscheinungsjahr
- 1991
- Beschreibungen/Notizen
- Kaiserslautern, Univ., Diss., 1991
- Sprache
- Deutsch
- Identifikatoren
- OCLC-Nummer: 636990275, 636990275Titel-ID: 990006894040106463
- Format
- 115 S. : graph. Darst.
- Systemstelle
- UHM
- Schlagworte
- Sputtern, Elektron-Atom-Stoß, Stoßionisation